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全省首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线

作者:小编    发布时间:2023-10-18 09:40:07    浏览量:

  10月16日,山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区实现通线英寸集成电路用大硅片生产线,标志着山东在完善集成电路产业链建设上迈出了关键一步。亿博电竞官网该项目全部达产后将形成120万片/年的生产规模。

  10月15日,记者在山东有研艾斯生产车间看到,单晶硅棒被切割成厚度仅一毫米直径约305毫米(12英寸)的硅片,再经过倒角、研磨等40-50道工序,最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。山东有研艾斯总经理闫志瑞指着一片硅片向记者介绍,硅片即“晶圆”,相当于芯片的“地基”。与芯片越小科技含量越高的制程工艺不同,硅片是越大则对材料和技术的要求越高。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,单片产出的芯片数量和经济效益明显增加。

  随着集成电路制程和工艺的发展,硅片趋向大尺寸化和制程精细化,12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

全省首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线

  2018年以来,中国有研科技集团在山东德州投资近百亿元,落地7个项目,已投产4个。2020年,8英寸集成电路用大硅片通线英寸集成电路用大硅片产业项目通线,山东德州成为有研在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”,亿博电竞官网打造中国集成电路关键材料(德州)基地,将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。

  企业投资持续“加码”,中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢信心十足,“投资项目进展顺利、运行正常,事实证明当初选择山东、选择德州是正确的。”他表示,德州将有研作为链主企业重点培育,精心建设专业园区,形成了较为完善的半导体产业生态,“有研也将充分发挥头部效应,集聚更多上下游企业落户德州。”

  据悉,德州近五年来,半导体产业产值年均增长近20%。山东有研入选省级“雁阵形”产业集群领军企业库,天衢新区电子信息(集成电路)入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群,已成为全省半导体产业高质量发展的重要增长极,一批高端优质项目聚“链”成“群”,蓬勃发展。

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